微量氮气流量计针对 sccm‑slpm 级别微小氮气工况，覆盖玻璃转子、金属管浮子、热式质量多种方案；适配设备吹扫、反应釜氮封、实验小试惰性保护气；可就地目视读数，也可输出标况质量流量信号对接控制系统，小螺纹、卡套接口适配狭小试验管路。

微量氮气流量计｜热式质量 / 转子微小氮气流量表 吹扫氮封惰性气体精密监测仪表  多钦仪表（上海）有限公司推荐

微量氮气流量计针对 sccm‑slpm 级别微小氮气工况，覆盖玻璃转子、金属管浮子、热式质量多种方案；适配设备吹扫、反应釜氮封、实验小试惰性保护气；可就地目视读数，也可输出标况质量流量信号对接控制系统，小螺纹、卡套接口适配狭小试验管路。

一、工况难点

微量氮气属于极低流速工况，普通涡街、旋进旋涡存在测量下限盲区，微小吹扫流量无法有效采集信号。

氮气属于可压缩气体，供气压力波动会直接改变工况体积流量，转子类仪表空气标定刻度不能直接作为氮气真实流量。

实验及设备管路压力容易发生脉动，造成浮子跳动、读数漂移，影响试验数据重复性。

部分工况既要现场直观观察流量，又需要采集标况流量数据接入 PLC、试验控制系统。

管路大多为小口径卡套、细螺纹接口，安装空间紧凑；玻璃管仪表受外力磕碰易破损。

气源带入油雾、水汽、粉尘，会污染传感器或者浮子组件，造成读数异常、部件卡滞。

二、产品概述

微量氮气 流量计主要分为变面积转子流量计与热式气体质量流量计两类。

变面积转子流量计包含玻璃管、金属管浮子，介质自下而上流过锥管，浮子悬浮高度对应流量，纯机械无需供电，部分型号集成针阀可直接调节氮气流量，金属管浮子可增加变送模块实现信号远传。注意转子为空气标定，测量氮气需要进行介质换算。

热式微量质量流量计基于热扩散原理，直接测量气体质量流量，不受压力温度波动影响，输出标况流量，下限低，适合微小吹扫流量，支持数显、4‑20mA、RS485 输出，便于自动化系统采集记录。

重要说明：追求标况真实流量、自动化数据采集，优先选用热式质量流量计；介质必须保持洁净干燥；含有油雾水汽前端必须配置气体过滤处理单元。

三、主要技术参数

测量介质：洁净干燥氮气、氩气等惰性气体

测量量程（标况）：0.01‑100SLPM，覆盖 sccm 超微量至小流量区间

精度等级：转子型 ±2.5% FS；热式质量型 ±0.5% FS、±1.0% FS

量程比：转子 10:1；热式最高 100:1；建议实际使用流量处于量程 30%‑80% 区间

最大工作压力：玻璃转子≤1.0MPa；金属转子 1.6MPa；热式质量 1.0MPa，高压规格可定制

介质温度：‑20～+120℃

接液材质：高硼硅玻璃、304、316L 不锈钢；密封 FKM 氟橡胶

连接方式：G1/4、G3/8、1/4"NPT 螺纹；Φ6/Φ8 卡套

可选配置：内置调节针阀、玻璃防护罩、就地数显、4‑20mA、RS485‑Modbus、本安防爆

供电方式：转子就地指示无供电；热式、远传型号 DC24V 供电

四、产品特点

方案选择丰富，机械式转子无需供电，成本友好，适合现场目视巡检；热式质量流量计不受温压干扰，直接输出标况质量流量，微小流量响应灵敏。

部分仪表集成针阀，可直接在仪表本体调节氮气输出，简化管路阀件。本体小巧轻薄，卡套、小螺纹接口适配实验台、设备内部狭小管路。

压力损失小，不会对氮气供气回路造成额外负载，不影响后端工艺供气。热式无机械运动部件，不易卡滞，适合长期连续吹扫工况；远传型号可对接自动化系统做数据存储与记录。

五、适用与不适用工况

✅适用场景：实验室微量氮气吹扫；反应釜氮封保护；热处理设备微量惰性气保护；新材料小试装置；分析仪器供气支路；小型制氮机微量分支管路。

❌不适用工况：介质含有粉尘、油雾、大量水汽；强腐蚀性气体；贸易结算计量；剧烈振动工况；普通玻璃转子无法直接输出标况质量流量。

六、安装规范

转子流量计必须垂直安装，介质流向自下而上，垂直度偏差≤2°，倾斜会造成读数偏差、浮子卡滞。

上游配置调压阀、精密气体过滤器，稳定供气压力，过滤杂质，减少浮子跳动。进出口管路独立支撑，管道应力不得施加在仪表本体，玻璃管仪表做好防护，避免外力撞击。阀门缓慢启闭，禁止瞬间气流冲击，防止损坏内部元件。

管路做好除水，冷凝水不得进入仪表腔体。热式质量流量计按照壳体流向标识安装，远离强磁场振动源；防爆工况严格按照防爆规范接线接地。

七、选型需要提供参数

氮气标况流量范围；

实际工作压力、介质温度；是否需要自带针阀；

接口规格；就地读数还是需要远传标况信号；

气源洁净程度；现场振动情况；是否防爆。

八、应用场景

高校科研小试微量氮气回路；

化工反应釜氮封吹扫；

热处理炉微量保护气；

分析仪器设备供气；

新材料试验装置惰性气回路。

FAQ

Q：玻璃转子读数可以直接作为氮气标况流量吗？

A：不可以，出厂刻度为空气标定，氮气密度、现场压力温度会带来偏差，需要做换算修正。

Q：微量吹扫流量浮子持续跳动是什么原因？

A：气源压力波动，缺少稳压阀；管路气流脉动；存在冷凝水汽；仪表安装不垂直。

Q：需要把微量氮气流量接入 PLC，转子可以实现吗？

A：普通玻璃转子无电远传；选用带变送金属管浮子或者热式微量质量流量计。

Q：气源含有少量油雾怎么处理？

A：前端配套除油除水过滤器，防止污染传感器与浮子部件。