微小空气流量计针对 sccm 至 slpm 级别微小空气工况，适配实验室吹扫、设备助风、工艺微量送风；包含转子就地指示、热式质量远传两类方案，小螺纹卡套接口，热式方案无需温压补偿，可输出标况流量，用于小试装置、试验设备、自动化配套微小空气管路监测。

微小空气流量计｜实验室工艺微小空气吹扫流量表 热式质量 / 转子微量空气计量仪表

微小空气流量计针对 sccm 至 slpm 级别微小空气工况，适配实验室吹扫、设备助风、工艺微量送风；包含转子就地指示、热式质量远传两类方案，小螺纹卡套接口，热式方案无需温压补偿，可输出标况流量，用于小试装置、试验设备、自动化配套微小空气管路监测。

一、工况难点

微小空气属于极低流速工况，普通涡街、旋进旋涡存在测量下限盲区，微小吹扫气量无法采集有效信号。

 空气属于可压缩气体，供气压力波动会改变工况体积流量，转子类仪表按空气标定，压力变化会带来读数偏差。

 气源容易带入油雾、水汽、细微杂质，会污染传感元件，造成零点漂移、部件卡滞。 

部分现场只需要现场目视读数，部分需要采集标况流量接入 PLC、试验控制系统。

 管路大多为微型卡套、细螺纹接口，安装空间紧凑；

玻璃管转子仪表受磕碰容易破损。

 间歇通气工况，气流启停脉动，容易造成读数跳动，影响试验数据重复性。

二、产品概述

微小 空气流量计主流分为变面积转子流量计、热式气体质量流量计。 

变面积转子流量计包含玻璃管、金属管浮子结构，介质自下而上流过锥管，浮子悬浮高度对应流量，纯机械无需供电，部分型号集成针阀可以就地调节气量，金属管浮子可增加变送模块实现信号输出。转子仪表为标况空气标定，压力发生变化时需要做修正换算。

 热式微小质量流量计采用热扩散原理，直接测量气体质量流量，不受温度压力波动影响，输出标况流量，测量下限低，微小吹扫流量响应灵敏，支持数显、4‑20mA、RS485 输出，方便自动化系统采集记录。

重要说明：追求标况真实流量、自动化数据采集，优先选用热式质量流量计；介质必须保持洁净干燥，气源含有油雾水汽前端需要配置过滤处理单元。

三、主要技术参数

测量介质：洁净干燥空气，也适配氮气等惰性气体 

测量量程（标况）：0.01‑100SLPM，覆盖 sccm 超微量至小流量区间 

精度等级：转子型 ±2.5% FS；热式质量型 ±0.5% FS、±1.0% FS 

量程比：转子 10 比 1；热式最高 100 比 1；建议实际使用流量处于量程 30%‑80% 区间 

最大工作压力：玻璃转子≤1.0MPa；金属转子 1.6MPa；热式质量 1.0MPa，高压规格可定制 

介质温度：‑20～+120℃ 

接液材质：高硼硅玻璃、304、316L 不锈钢；密封 FKM 氟橡胶 

连接方式：G1/8、G1/4、G3/8、1/4"NPT 螺纹；Φ6/Φ8 卡套 

可选配置：内置调节针阀、玻璃防护罩、就地数显、4‑20mA、RS485‑Modbus、本安防爆 

供电方式：转子就地指示无供电；热式、远传型号 DC24V 供电

四、产品特点

方案选择丰富，机械式转子无需供电，成本友好，适合现场目视巡检；热式质量流量计不受温压干扰，直接输出标况质量流量，微小流量响应灵敏。部分仪表集成针阀，仪表本体直接调节空气输出，简化管路阀件配置。 

整机体积小巧，卡套、小螺纹接口适配实验台、设备内部狭小管路布局。 

压力损失小，不会对微小空气供气回路造成额外负载。 

热式无机械运动部件，不易卡滞，适合长期连续吹扫工况；远传型号可以对接自动化系统完成数据存储记录。

五、适用与不适用工况

适用场景：实验室微小空气吹扫；试验设备微量助风供气；小试装置工艺微量送风；分析仪器空气支路；设备保护吹扫空气管路。

不适用工况：介质含有粉尘、油雾、大量水汽，没有前置过滤；强腐蚀性气体；贸易结算计量；剧烈振动工况；普通玻璃转子无法直接输出标况质量流量。

六、安装规范

转子流量计必须垂直安装，介质流向自下而上，垂直度偏差≤2°，倾斜会带来读数偏差、浮子卡滞。 

上游配置调压阀、精密气体过滤器，稳定供气压力，过滤杂质，减少浮子跳动。 

进出口管路独立支撑，管道应力不得施加在仪表本体，玻璃管仪表做好防护，避免外力撞击。

 阀门缓慢启闭，禁止瞬间气流冲击，防止损坏内部元件。 

管路做好除水，冷凝水不得进入仪表腔体。 

热式质量流量计按照壳体流向标识安装，远离强磁场振动源；防爆工况严格按照防爆规范接线接地。

七、选型需要提供参数

空气标况流量范围；实际工作压力、介质温度；

是否需要自带针阀；接口规格；就地读数还是需要远传标况信号；

气源洁净程度；现场振动情况；是否需要防爆。

八、应用场景

高校科研实验室微小空气回路；各类试验设备微量空气供气；

小试装置工艺吹扫；分析仪器供气支路；

自动化设备微量送风管线。

FAQ

Q：玻璃转子读数可以直接作为空气标况流量吗？

 A：常压工况下可以参考，供气压力发生变化时，需要做压力换算修正。

Q：微小空气吹扫流量浮子不停跳动是什么原因？

 A：气源压力波动，缺少稳压阀；管路气流脉动；管路存在冷凝水汽；仪表安装不垂直。

Q：微小空气流量需要接入 PLC，转子可以实现吗？ 

A：普通玻璃转子无电远传，选用带变送金属管浮子或者热式微小质量流量计。

Q：气源含有少量油雾怎么处理？ 

A：前端配套除油除水过滤器，防止污染传感器与浮子部件。