高纯氮气质量流量计主要用于高纯氮气、超高纯氮气的流量监测，广泛应用在半导体、光伏、医药、实验室、特种材料等对气源洁净度要求高的工艺场景。

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高纯氮气质量流量计主要用于高纯氮气、超高纯氮气的流量监测，广泛应用在半导体、光伏、医药、实验室、特种材料等对气源洁净度要求高的工艺场景，实时监测氮气瞬时流量与累积流量，精准管控供气气量，保障工艺环境稳定，避免气源污染影响产品品质。主流为热式气体质量流量计，也可根据工况选用金属管浮子流量计，接液部位做抛光处理，不易析出，适配高纯管路，支持就地显示和信号远传，可接入 PLC 与数据采集系统，防爆型号可用于化工防爆车间。

工作原理

热式高纯 氮气质量流量计采用热扩散原理，传感器配置温度检测元件和加热传感元件，温度元件检测高纯氮气本身温度，加热元件维持固定温差。高纯氮气流过传感器表面带走热量，维持该温差需要的加热功率随流量变化，仪表通过功率信号换算氮气质量流量，直接输出标况流量数值，不需要额外配置温压补偿装置，气源小幅压力波动时测量稳定。

金属管浮子款式依靠浮子重力与气体浮力平衡测量体积流量，机械结构无需供电，适合洁净管路仅就地观测流量的工况。

产品特点

微流量检测灵敏，低流量区间测量稳定，适配长时间微量供气、氮封吹扫工况。

接液材质选用 316L 不锈钢，可进行电解抛光处理，内壁光滑，无吸附、无析出，不会污染高纯氮气。

量程比宽，能够兼顾大流量置换和小流量持续保压两种工艺。

压损低，不会对后端腔体压力造成明显扰动。

自带液晶显示屏，可查看瞬时流量、累积流量。支持 4-20mA、RS485 通讯输出，可设置流量上下限报警，实现流量异常提醒。

可选防爆结构，满足防爆区域使用需求。多种连接形式，卡套、VCR、法兰可选，适配高纯气路标准连接。

技术参数

测量介质：高纯氮气、超高纯氮气，惰性保护气体

公称通径：DN2-DN80

流量范围：0.005~2000SLM，超小量程可定制

精度等级：热式款 ±1.0% FS，金属管浮子款 ±1.5% FS

介质温度：-20℃~120℃

工作压力：0~1.6MPa，高压规格支持定制

信号输出：液晶就地显示、指针显示、4-20mA、RS485、流量报警

供电方式：热式款 DC24V，金属管浮子机械式无需供电

连接方式：卡套、VCR、内螺纹、法兰

防护等级：IP65

防爆等级：Exia II CT6 可选

应用场景

半导体工艺高纯氮气保护，光伏制程氮气吹扫，实验室色谱高纯氮气供气，医药合成密闭腔体惰性保护，锂电材料高纯氮封，特种材料烧结保护气路，制氮机高纯支路流量监控。

选型注意事项

高纯、超高纯工况优先选择电解抛光 316L 接液、VCR 接头版本。

需要数据记录、自动控制、气源压力波动大的工况优先热式质量流量计。

仅现场目视读数，无信号采集需求，可选金属管浮子流量计。

气源含有颗粒物杂质时，前端加装精密过滤器，保护传感元件。

订货时确认氮气纯度、标况流量、工作压力、接头类型以及防爆要求。

常见问答

问：高纯氮气 流量计需要做脱脂处理吗？

答：氧气、高纯氮气等洁净气路，可按需选择脱脂处理，减少管路油污残留。

问：VCR 接头和普通卡套有什么区别？

答：VCR 密封性能更好，洁净等级更高，多用于半导体、超高纯气体管路。