微小流量气体流量计（热式为主） 多钦仪表（上海）有限公司选型推荐

一、主流类型与核心参数

1. 热式质量流量计

• 原理：热扩散 / 恒温差，测气体带走热量算质量流量。

• 量程：2sccm~50slm（标准升 / 分钟），可测0.01mL/min级。

• 精度：±0.5%~±1.5% FS，重复性 ±0.2%。

• 口径：DN6~DN15，接口 1/8"、1/4" 卡套 / 快插。

• 耐温：-20~+80℃；耐压：≤1MPa。

• 输出：4-20mA、RS485、脉冲；本地数显。

• 特点：直接质量流量、无温压补偿、无活动部件、响应快（≤1s）、低压损。

2. 微型科里奥利质量流量计（高精度）

• 量程：低至 0.1g/h，DN0.5~DN4。

• 精度：±0.1%~±0.2%，可测气体 / 液体。

• 特点：不受组分、温压影响；可测密度。

• 局限：价格高、压损大。

3. 层流差压流量计（组分可变）

• 原理：层流状态下差压与流量线性相关。

• 特点：适配组分变化混合气；耐压高（可达 10MPa）。

• 局限：需定期标定；对洁净度要求高。

4. 微型浮子流量计（低成本）

• 量程：10mL/min~10L/min。

• 精度：±2.5% FS，现场直读。

• 特点：结构简单、价格低；无需电源。

• 局限：需温压换算；精度低；不耐高压。

二、工况选型

• 实验室 / 高纯气 / 吹扫气 / 微量配比 → 热式（2sccm 起）。

• 高精度贸易 / 催化剂加注 / 稀有气体 → 微型科里奥利。

• 混合气 / 组分波动 / 高压 → 层流差压式。

• 低成本 / 现场直读 / 低压 → 微型浮子。

三、关键选型参数

1. 流量范围：常用流量在满量程10%~90%；量程比≥1:50（热式可达 1:100）。

2. 气体种类：纯气（N₂、O₂、Ar、CO₂）选热式；混合气选层流差压式。

3. 材质：316L 不锈钢（常规）、哈氏合金（腐蚀）、PTFE 密封。

4. 防爆：Ex ib IIC T4（氢气 / 甲烷等易爆气）。

5. 安装：水平 / 垂直均可；前≥5DN、后≥3DN 直管段；避免振动。

四、安装与运维

1. 必须洁净干燥，前端可装 2μm 过滤器。

2. 避免脉动流（如泵后），必要加减压罐 / 缓冲器。

3. 每年校准一次；零点漂移时现场清零。

4. 长期不用时密封接口，防灰尘 / 湿气进入。

五、典型应用

• 实验室：气相色谱、气体分析、微量反应气配比。

• 半导体：晶圆吹扫、载气控制、高纯气输送。

• 化工：微反应器进料、催化剂微量添加、惰性气体保护。

• 医疗：氧气 / 麻醉气精准输送、呼吸机流量监测。