多钦仪表​惰性气体吹扫流量计，适配氮气、氩气、氦气等惰性保护气体，用于反应釜置换吹扫、微流量保压氮封、半导体管路吹扫监测，热式质量直测质量流量，无需温压补偿，支持就地显示、4-20mA、RS485 远传，可提供防爆、洁净抛光选型。

惰性气体吹扫流量计  氮气氩气氦气反应釜氮封吹扫质量流量仪表  多钦仪表（上海）有限公司推荐

多钦仪表惰性气体吹扫  流量计，适配氮气、氩气、氦气等惰性保护气体，用于反应釜置换吹扫、微流量保压氮封、半导体管路吹扫监测，热式质量直测质量流量，无需温压补偿，支持就地显示、4-20mA、RS485 远传，可提供防爆、洁净抛光选型。

产品概述

惰性气体吹扫流量计主要针对氮气、氩气、氦气等惰性保护气体吹扫工况设计，多用于反应釜空气置换、持续微正压氮封、半导体与光伏管路吹扫、分析仪吹扫保护等工艺，实现吹扫流量实时监测、超限报警与流量累积。

主流采用热式质量原理，也可选用金属管浮子、玻璃转子方案，覆盖微小吹扫流量至中大置换流量区间，适配洁净、防爆、低压等多种现场工况。

工作原理

热式质量款基于热扩散原理，传感探头采集气体带走的热量信号，直接得到气体质量流量，压力小幅波动对测量影响较小，不用配套温度压力补偿。浮子式依靠浮子受力平衡显示体积流量，结构简单，可做到无电源就地直读。

产品特点

针对微吹扫小流量响应灵敏，低下限可稳定监测微量保压气流。

介质兼容氮气、氩气、氦气等多种惰性气体，可按需求标定气体种类。

流路可选 304、316L 不锈钢，高纯工况支持内壁抛光处理。

显示模块支持瞬时流量、累积流量同屏查看，带流量上下限报警输出。

信号接口包含 4-20mA 模拟量、RS485 通讯，方便接入 PLC、DCS 系统。

可提供防爆版本，满足化工车间危险区域使用要求。

浮子款式可选内置调节阀，现场直接调节吹扫流量大小。

技术参数

测量介质：氮气、氩气、氦气等惰性气体

测量原理：热式质量 / 金属管浮子 / 玻璃转子

流量范围：微小吹扫量程可选 0.01~1000SLM，按工况定制

介质温度：-20℃~120℃

工作压力：0~1.6MPa（更高压力可定制）

精度等级：±1.5% FS、±2.5% FS

输出信号：4-20mA、RS485（Modbus-RTU）、开关报警

供电：DC24V；机械式浮子款无需供电

连接方式：螺纹、卡箍、法兰

防护等级：IP65

防爆等级：Exia II CT6（按需选配）

应用场景

化工反应釜氮气置换吹扫、氮封保压流量监控。

半导体、光伏产线高纯氩气、氮气管路吹扫。

在线气体分析仪取样管路吹扫保护。

热处理炉惰性保护气供给监测。

实验室氦气、氩气吹扫工艺计量。

锂电池、新材料行业密闭腔体惰性气氛保护。

常见问题

1，吹扫工况选热式还是浮子。

微流量持续保压吹扫优先热式质量流量计，精度稳定支持远传；只需要就地观察、预算有限选用金属管浮子。

2，是否需要温压补偿。

热式质量流量计直接测质量流量，常规吹扫工况不需要额外补偿；涡街等体积式仪表才需要配套温压补偿。

3，高纯气体可以使用吗。

可以，高纯工况选用 316L 抛光流路，无油洁净装配，减少微粒析出。