多钦仪表含氟气体流量计，接触介质部件选用哈氏合金、蒙乃尔、PTFE 等耐氟防腐材质，适配四氟化碳、氟化qing等含氟气体 流量计量，支持 RS485 通讯，防爆可选，用于半导体、化工含氟工艺管道监测。

含氟气体流量计｜耐腐蚀氟气介质流量测量仪表 - 多钦仪表

多钦仪表含氟气体流量计，接触介质部件选用哈氏合金、蒙乃尔、PTFE 等耐氟防腐材质，适配四氟化碳、氟化qing等含氟气体 流量计量，支持 RS485 通讯，防爆可选，用于半导体、化工含氟工艺管道监测。

产品概述

 多钦仪表含氟气体 流量计，针对含氟类腐蚀性气体介质研发，适配四氟化碳、氟化qing、六氟化钨等工艺气体。介质接触部分采用耐氟特种合金或氟塑料内衬，抵御含氟介质腐蚀，保障仪表长期稳定运行。

仪表类型包含热式气体质量流量计、涡街流量计，可根据介质腐蚀程度、管径大小选型，具备就地液晶显示功能，支持 4-20mA、RS485-Modbus 信号输出，可接入 PLC、DCS 系统完成流量数据采集与累积计量，多用于半导体刻蚀、精细化工含氟工艺管线。

工作原理 

热式气体质量流量计采用热扩散传感原理，直接测量气体质量流量，无需额外温压补偿，低流速下测量稳定，适合小流量含氟工艺气体计量。 

涡街流量计基于卡门涡街原理，检测旋涡频率换算工况体积流量，可选配一体化温压补偿模块，自动换算标况流量，适配中等管径、流量稳定的含氟气体管道。

产品特点 

介质接触件选用哈氏合金、蒙乃尔合金、PTFE 内衬等耐氟防腐材料，抵抗含氟气体腐蚀。 

支持数字通讯与模拟量双信号输出，RS485-Modbus 可实现多台仪表总线组网。 

可选一体化温压补偿模块，修正气体温度压力波动带来的测量误差。 

防爆版本可选，ExdⅡBT4 防爆等级，匹配化工、半导体防爆工艺区域。 

无机械转动部件，运行磨损小，减少介质腐蚀带来的部件损坏风险。 

液晶就地显示，可查看瞬时流量、累积流量、温度压力参数。 

多种连接方式，法兰、卡箍可选，可根据工艺洁净等级定制。

材质与选型说明 

强腐蚀含氟气体工况，优先选用哈氏合金或蒙乃尔合金传感探头。 

弱腐蚀含氟气体，可选用 PTFE 内衬结构。

 DN4-DN50 小口径工艺管线，半导体刻蚀微量含氟气体，优先热式气体质量流量计。 

DN15-DN300 中等管径，流量稳定的含氟气体主管，选用防腐型涡街流量计搭配温压补偿。 

介质含粉尘颗粒的工况，选型时增加前置过滤保护装置。

技术参数 

测量介质：四氟化碳，氟化qing，六氟化钨等各类含氟腐蚀性气体 

公称口径：DN4～DN300

 精度等级：±1.0% FS~±1.5% FS 

介质温度：-40℃～200℃ 

工作压力：PN16，高压版本支持定制 

供电电源：DC24V 

通讯方式：RS485 Modbus-RTU，可选 4-20mA 输出 

防护等级：IP65显示功能：液晶显示屏，瞬时流量，累积流量，温度压力 

连接方式：法兰连接，卡箍快装

应用场景 

半导体制造刻蚀工艺含氟气体流量监测。 

精细化工氟化工艺管道气体计量。 

特种材料表面处理含氟工艺气用量统计。

 实验室含氟气体供气管路流量采集。 

尾气处理前端含氟工艺气体流量检测。

FAQ 

问题 1，含氟气体 流量计能不能用普通不锈钢材质。 

回答，普通 304/316L 不锈钢不耐含氟气体腐蚀，介质接触部位必须选用哈氏合金、蒙乃尔或 PTFE 防腐材质，否则传感器会快速损坏。

问题 2，含氟气体介质压力波动大，选哪类仪表。

 回答，推荐热式气体质量流量计，直接测量质量流量，压力波动对测量结果影响较小。

问题 3，含氟气体含有固体微粒，怎么保护流量计。 

回答，建议在流量计上游管路加装耐腐蚀过滤器，过滤固体杂质，防止杂质冲刷、损伤传感器。