多钦仪表高纯气体流量计，介质接触部位采用 316L 不锈钢可选内壁抛光，适配高纯氮气、高纯氩气、高纯氦气等洁净气体，微小吹扫到大流量总管均可测量，支持信号远传，洁净管路卡箍连接可选。

高纯气体流量计｜洁净气体管道计量仪表 - 多钦仪表 

多钦仪表高纯气体流量计，介质接触部位采用 316L 不锈钢可选内壁抛光，适配高纯氮气、高纯氩气、高纯氦气等洁净气体，微小吹扫到大流量总管均可测量，支持信号远传，洁净管路卡箍连接可选。

产品概述 

多钦仪表高纯气体 流量计，面向半导体、光伏、制药、特种材料行业洁净气体输送管线开发，用于高纯气体瞬时流量监测与累积用量计量。

仪表接触气体部位选用 316L 不锈钢为主，可按需做内壁抛光处理，降低气体吸附，避免介质污染。

产品以热式气体质量流量计为核心，搭配金属管浮子流量计，覆盖微小吹扫流量到大管径总管供气场景，仪表自带液晶显示模块，支持信号远传对接控制系统，满足高洁净工况计量要求。

工作原理 

热式气体质量流量计采用热扩散传感原理，直接测量气体质量流量，无需额外温压补偿，低流速工况测量稳定，适合高纯气体小流量吹扫、保护气计量。 

不锈钢金属管浮子流量计依靠浮子受力平衡原理，实现现场就地流量显示，结构简洁，适合仅需要现场读取流量的高纯气体管路。

产品特点 

介质接触件选用 316L 不锈钢，可选内壁抛光工艺，减少介质吸附残留，保障管路洁净度。 

直接质量流量测量型号，受温度压力波动影响小，测量数据稳定。

 多种信号输出可选，4-20mA、RS485-Modbus、脉冲信号，方便远程采集流量数据。 

防爆版本可选，ExdⅡBT4 防爆等级，适配化工、锂电防爆洁净车间。 

量程区间宽，微小流量吹扫和主管路大流量高纯气体输送都可匹配选型。 

无机械转动部件款式，运行磨损低，日常维护工作量小。 

多种连接方式，洁净管路优先卡箍快装结构，螺纹、法兰连接按需选择。

材质与选型说明 

常规高纯气体工况推荐 316L 不锈钢，高洁净要求场景增加内壁抛光处理。

 DN4-DN50 小口径洁净管道，半导体、光伏设备吹扫保护气，优先抛光款管段式热式质量流量计。 

DN50 以上大口径高纯气体总管，选用插入式热式质量流量计，降低管道改造费用。

 只需要现场就地读数，无远程数据采集需求，选用不锈钢金属管浮子流量计。

技术参数 

测量介质：高纯氮气、高纯氩气、高纯氦气等各类洁净惰性气体 

公称口径：DN4～DN4000 

精度等级：±1.0% FS~±1.5% FS 

介质温度：-40℃～200℃ 

工作压力：PN16，高压版本支持定制 

供电电源：DC24V，部分型号支持 AC220V 供电 

防护等级：IP65 

显示功能：液晶显示屏，显示瞬时流量、累积流量 

连接方式：卡箍快装，螺纹连接，法兰连接，插入球阀底座

应用场景 

半导体晶圆制程高纯气体吹扫保护计量。 

光伏电池生产高纯氮、高纯氩输送管路流量监测。 

制药洁净车间高纯惰性气体用量统计。 

实验室各类高纯气体供气管道流量采集。 

特种材料热处理高纯保护气流量监控。

FAQ 

问题 1，更换测量高纯气体种类，仪表需要重新标定吗。 

回答，热式质量流量计气体介质更换后，需要重新标定参数，保证测量精度。金属管浮子流量计需要按照新介质参数修正读数。

问题 2，洁净管路安装高纯气体 流量计，优先选哪种连接。 

回答，高纯洁净管路优先选用卡箍快装连接，拆装方便，管路死角少，便于管路清洁。

问题 3，内壁抛光对于高纯气体计量有什么作用。 

回答，内壁抛光可以减少气体吸附，降低介质残留，维持管路洁净等级，适配半导体、医药等高洁净要求工况。