微量空气流量表针对毫升至几十标升每小时的微量空气工况开发，以热式质量测量结构为主，无需额外温压补偿，直接输出标况质量流量，采用螺纹、卡套小接口，适配狭小试验管路，多用于实验室供气、设备吹扫、小试工艺空气配比、微小支路空气流量监测。

微量空气流量表｜MEMS 热式质量流量仪表 实验室小口径洁净空气吹扫精密流量监测表

微量空气流量表针对毫升至几十标升每小时的微量空气工况开发，以热式质量测量结构为主，无需额外温压补偿，直接输出标况质量流量，采用螺纹、卡套小接口，适配狭小试验管路，多用于实验室供气、设备吹扫、小试工艺空气配比、微小支路空气流量监测。

一、工况难点

微量空气属于低流速工况，普通涡街、浮子流量计存在测量下限盲区，气量很小时无法捕捉有效信号，出现漏计情况。空气属于可压缩气体，管路压力出现波动，工况体积流量随之发生改变，如果只测量体积流量，计量数据偏差会明显增大。

被测管路大多为细小支管，安装空间比较狭小，很多为间歇供气工艺，流量变化幅度大。空气中带入的粉尘、水汽油雾容易附着传感元件表面，造成读数漂移。部分工艺现场有防爆要求，电气部件需要匹配对应的防爆等级。管路靠近阀门、接头，气流扰动也会对微小流量测量带来干扰。

二、产品概述

微量空气 流量表主流采用 MEMS 热式质量流量结构，也可选用玻璃转子、金属管浮子作为就地观测方案。

热式微量空气 流量表依靠热扩散原理直接测量气体质量流量，不需要配套温度压力补偿部件，量程比宽，微小流量响应灵敏，压力损失低。气体流过传感芯片，带走热量，通过热量变化换算得到瞬时流量与累计流量数值。仪表配置液晶显示屏幕，现场直接读取流量参数，同时输出标准信号远传至控制系统。接液本体选用 316L 不锈钢材质，接口多采用卡套、小螺纹形式，适配细小试验管路，无机械运动部件，日常维护工作量小。介质含有粉尘、油雾的工况，前端需要配置过滤器，保护传感芯片不受污染。

玻璃、金属管浮子类型的微量空气 流量表，结构简单，用于只需要现场就地目视读数的场景。浮子随空气流量大小上下浮动，完成流量指示，气体工况需要按照实际工作压力温度完成量程换算，压力波动会带来一定测量偏差，可加装变送模块实现远传输出。

三、选型参考

需要远程采集标况质量流量，压力波动较大的管路，优先选用 MEMS 热式微量空气 流量表。只做现场巡检观察，没有远传需求，可选用玻璃或者金属管浮子流量计。

核对标况下实际空气流量范围，保证常用流量落在仪表合适量程区间。空气含有粉尘、水汽、油雾，仪表上游配置过滤器，过滤杂质，避免污染传感元件。

确认管路接口规格，小口径试验管路优先卡套、螺纹连接。有防爆使用需求，选用本安防爆规格。订货同步确认工作压力、介质温度、供电电压、信号输出类型。

四、技术参数

适配介质，洁净干燥空气。

流量范围，毫升每分钟至几十标升每小时。

公称通径，DN4‑DN15，卡套、螺纹连接。

接液材质，316L 不锈钢。

压力等级，PN10‑PN16。

介质温度，‑20℃至 80℃。

测量精度，热式 ±1.0% FS，浮子型 ±1.5%。

量程比，热式可达 100 比 1，浮子 10 比 1。

信号输出，液晶就地数显，4‑20mA，脉冲，RS485 Modbus。

供电，24VDC。

防护等级 IP65，防爆等级可按需配置。

五、安装规范

仪表按照表体标识流向进行安装，上游保留不少于五倍管径直管段，下游保留三倍管径直管段，调节阀布置在仪表下游。

管路保持洁净干燥，上游配套过滤器，拦截粉尘油雾杂质。尽量减少管路接头，降低泄漏概率，气体管路做好气密性检测，管路泄漏会直接造成测量数据失真。

仪表安装位置避开振动源、热源，减少外界环境对传感芯片的干扰。仪表本体不要承受管道应力，细小管路增加支撑。信号线缆采用屏蔽线缆，做好接地处理，远离变频器等强干扰设备。防爆场景严格按照防爆规范接线施工。

定期检查过滤器滤芯，及时清理更换，保障仪表长期稳定运行。

六、应用场景

广泛用于高校实验室小试装置，设备空气吹扫管路，小型配比试验设备，精细化工工艺空气支路，检测仪器配套微小空气流量监测。