多钦仪表高纯氮气流量表，采用 304/316L 不锈钢，可选抛光处理，热式质量流量计为主，适配半导体、制药、光伏高纯氮气输送管道，可精准测量微小吹扫到大流量供气，支持信号远传，防爆可选。

高纯氮气流量表｜高纯气体管道计量仪表 - 多钦仪表 

多钦仪表高纯氮气流量表，采用 304/316L 不锈钢，可选抛光处理，热式质量流量计为主，适配半导体、制药、光伏高纯氮气输送管道，可精准测量微小吹扫到大流量供气，支持信号远传，防爆可选。

产品概述 

多钦仪表高纯氮气 流量计，针对高纯度氮气介质计量开发，适配洁净气体输送管线。仪表接触介质部位选用 304 或 316L 不锈钢，可按需做内壁抛光处理，减少气体吸附，避免介质污染。

产品以热式气体质量流量计为核心，搭配不锈钢金属管浮子流量计，覆盖半导体、光伏、制药等行业高纯氮气使用场景，可测量瞬时流量与累积流量，支持数据远传对接控制系统。

工作原理 

热式气体质量流量计依托热扩散传感原理，直接测量氮气质量流量，不需要额外温压补偿，低流速状态下测量稳定，适合高纯氮微小吹扫流量监测。 

不锈钢金属管浮子流量计依靠浮子受力平衡原理，就地直观显示流量，结构简洁，适合现场就近观测流量的高纯氮管路。

产品特点 

介质接触件不锈钢材质，可选内壁抛光，降低气体吸附，保障高纯介质洁净度。 

直接质量流量测量型号，不受温度压力波动带来的测量偏差。 

信号输出丰富，4-20mA、RS485-Modbus、脉冲信号可选，便于远程流量采集。

 防爆版本可选，ExdⅡBT4 防爆等级，满足化工、锂电防爆车间使用需求。 

量程范围宽，微小流量吹扫、主管路大流量高纯氮输送均可匹配。 

无机械转动部件的款式，运行磨损低，维护工作量小。 

多种连接方式，螺纹、卡箍、法兰可选，洁净管路优先卡箍快装结构。

材质与选型说明 

常规高纯氮气工况选用 316L 不锈钢，普通高纯供气可选用 304 不锈钢。 

DN4-DN50 小口径洁净管道，半导体、光伏设备吹扫，优先选用抛光款管段式热式质量流量计。 

DN50 以上大口径高纯氮总管，选用插入式热式质量流量计，降低管道改造成本。 

只需要现场就地读数，低流量，无远程采集需求，选用不锈钢金属管浮子流量计。

技术参数 

测量介质：高纯氮气，各类洁净惰性气体 

公称口径：DN4～DN4000 

精度等级：±1.0% FS~±1.5% FS 

介质温度：-40℃～200℃ 

工作压力：PN16，高压版本可定制 

供电电源：DC24V，部分型号支持 AC220V 供电 

防护等级：IP65 

显示功能：液晶显示屏，显示瞬时流量、累积流量 

连接方式：卡箍快装，螺纹连接，法兰连接，插入球阀底座

应用场景 

半导体晶圆制程高纯氮气吹扫、保护气计量。 

光伏电池生产高纯氮保护管路流量监测。 

制药洁净车间高纯氮气输送计量。 

实验室高纯氮气供气管道流量采集。 

特种材料生产氮封保护高纯氮气用量统计。

FAQ问题 1，高纯氮气 流量计是否需要温压补偿。 

回答，热式质量流量计直接测量质量流量，不需要温压补偿。浮子流量计测量体积流量，压力温度波动较大时，需要结合参数换算。

问题 2，洁净管路选用什么连接方式更好。 

回答，高纯洁净管路优先卡箍快装连接，拆装方便，便于管路清洁，减少死角。

问题 3，仪表内壁抛光有什么作用。

 回答，内壁抛光可以减少气体吸附，降低介质残留，维持高纯氮气洁净等级，适合半导体、医药等高洁净要求工况。