高纯氮气流量计选型方案（纯度 99.99%/5N、半导体、电子、光伏、实验室专用）

多钦仪表（上海）有限公司推荐

高纯氮气核心要求：内壁无析出、无粉尘污染、极低泄漏、全程干燥洁净，过流件必须采用电解抛光 316L EP 不锈钢，密封选用 FFKM 全氟橡胶，杜绝杂质污染氮气纯度；主流分 4 类仪表，按流量、精度、管径区分选用。

高纯氮气流量计分类介绍：

一、优选：洁净型热式气体质量流量计（工业高纯氮总管 / 分支通用）

1. 测量原理

2. 高纯专用洁净结构要求

• 管体、探杆：316L EP 电解抛光，内壁 Ra≤0.4μm、不积尘、不析出金属微粒；

• 传感器探头 316L 不锈钢，无普通涂层脱落风险；

• 密封件 FFKM 全氟橡胶，不释放有机物污染高纯气；

• 法兰采用 RF 突面 / 卡箍卫生连接，无沟槽死角；

• 出厂真空吹扫、洁净包装，安装前可在线吹扫。

3. 两种结构

1. 管段一体式（DN15~DN200 制氮纯化出口、车间高纯氮支管）

   整机出厂标定，精度 ±1.0% FS，量程比 100:1，微小置换、吹扫流量均可计量；自带就地液晶显示瞬时 / 累积。

2. 

3. 插入式洁净热式（DN300 以上厂区高纯氮主干改造）

   带压球阀底座，可抽出探头清洗，不停产维护；探杆 EP 抛光，大口径造价更低，压损几乎为零。

4. 

4. 适用场景

1. 制氮机纯化塔出口总高纯氮计量；

2. 半导体、光伏、锂电池生产线氮封、吹扫、载气；

3. 医药洁净车间无菌保护气、反应釜高纯氮置换；

4. 多支路高纯氮气能耗分摊统计。

优缺点

二、超高精度贸易 / 实验室：科里奥利（科氏）质量流量计

1. 核心优势

2. 洁净配置

3. 局限

适用：高纯氮贸易结算、半导体精密配气、液氮汽化高纯氮计量。

三、中大流量稳定输送：洁净型温压补偿涡街流量计

1. 结构材质要求

2. 参数

适用场景

短板：下限流速存在测量盲区，微量吹扫流量无法精准计量。

四、小管径就地目视监测：洁净金属管浮子流量计

1. 洁净配置

2. 参数

适用：单台设备微量高纯氮吹扫、实验室支路简易流量观测，仅人工巡检，不做高精度能耗结算。

五、高纯氮气仪表统一强制材质规范（关键，避免纯度下降）

1. 过流金属件：316L EP 电解抛光不锈钢，禁止普通 304、粗糙内壁；

2. 密封垫片：FFKM 全氟橡胶，禁用 NBR、EPDM 普通橡胶（易析出有机物）；

3. 管路配套阀门：波纹管阀 / 隔膜阀，禁止普通闸阀、截止阀（易产生金属碎屑）；

4. 前置过滤：高纯专用精密滤芯（0.01μm），拦截微量粉尘、水汽。

六、选型快速对照表

七、高纯管路安装专用规范

1. 直管段

• 管段热式：上游≥10D，下游≥5D；插入热式 / 涡街上游≥20D；流场紊乱加装蜂窝整流器；

2. 管路配套（高纯）

   上游高纯精密过滤器、管道低点自动排水阀、前后波纹管切断阀 + 旁路波纹管三通；振动管路加减振软接头；

3. 安装姿态

   水平管道探头置于管道上半区，防止微量冷凝水浸泡元件；垂直管道气流自下而上；

4. 洁净施工要求

   仪表进场全程防尘密封；安装前整条管路氮气吹扫置换；法兰垫片一次性全新 FFKM，禁止重复使用；

5. 防爆洁净车间

   法兰铜编织防静电跨接，整机独立接地；防爆屏蔽线缆、防爆挠性管；检修前断电、氮气置换管路，杜绝杂质、油污进入流道。

八、高纯仪表维护特殊要求

1. 每周：检查前置高纯过滤器压差，及时更换滤芯，排放微量冷凝水；

2. 每半年：拆洗热式探头、涡街发生体，全程无尘洁净操作，使用高纯氮气吹扫；

3. 每年：高纯氮气介质实流标定，同时检查 EP 内壁有无划伤、密封是否老化；

4. 长期停机：管路持续小流量高纯氮保压吹扫，防止空气、水汽渗入污染流道。

九、标准成套配置（DN200 纯化塔出口高纯氮热式）

质保 2 年，价格为参考价；

可按需定制 PN40 高压、卡箍卫生连接、NB-IoT 无线远传，支持高纯氮气介质标定、上门无尘吹扫安装调试。